阿尔卡特干泵ADP/ADS系列
ADP/ADS系列2产品的四种型号可满足不同真空要求,环境清洁的工艺应用可选择LM型,轻型或中型应用要求可选择P型,H型可供苛刻要求的工艺环境选择。许多来自半导体工业的主要制造商已经选择这一产品,阿尔卡特真空泵,这一选择使他们大大缩短了计划外停l工期,从而节约了运行成本,阿尔卡特真空泵订购,提高了利润率。
特点:
处理能力可靠性高宽交叉槽可容纳大量粉尘和颗粒精l确而闭合的温控系统、高操作温度以及从进口到出口的气体温度的线性增长各级采取立式抽吸防止吹扫腔中粉尘聚集
气体传输泵气体传输泵是一种能使气体不断的吸入和排出,借以达到抽气目的的真空泵,这种泵基本上有两种类型:变容真空泵利用泵腔容积的周期性变化来完成吸气和排气过程的一种真空泵,气体在排出前被压缩。这种泵分为往复式及旋片式两种:(1) 往复式真空泵:是利用泵腔内活塞做往复式运动,将气体吸入、压缩并排出。因此,又称为活塞式真空泵。(2) 旋片式真空泵:是利用泵腔内活塞做旋转运动,将气体吸入、压缩并排出。
式螺杆真空泵:它是一种不用油类(或液体)密封的变容真空泵。
液环式真空泵:带有多叶片的转子偏心装在泵壳内,当它旋转时,把液体(通常为水或油)抛向泵壳内形成泵壳同心的环液,环液同转子叶片形成了容积周期性变化的几个小容积,故亦称旋转变容真空泵。
罗茨真空泵:泵内装有两个相反方向同步旋转的双叶形或多叶形的转子,转子间、转子同泵壳内壁之间均保持一定的间隙。它属于旋转变容真空泵。机械增压泵即为这种形式的真空泵。