爱德华RV3真空泵销售-方欧真空科技(在线咨询)-真空泵

真空泵的特点(1)在较宽的压力范围内有较大的抽速；(2)转子具有良好的几何对称性，故振动小，运转平稳。转子间及转子和壳体间均有间隙，不用润滑，摩擦损失小，可大大降低驱动功率，从而可实现较高转速；(3)泵腔内*用油密封和润滑，爱德华EH1200真空泵销售，可减少油蒸气对真空系统的污染；(4)泵腔内无压缩，无排气阀。结构简单、紧凑，对被抽气体中的灰尘和水蒸汽不敏感；(5)压缩比较低，对氢气抽气效果差；(6)转子表面为形状较为复杂的曲线柱面，加工和检查比较困难。

罗茨泵与前级泵抽速之间的关系

罗茨泵的抽速与前级泵抽速之间的关系，主要取决于容积效率和罗茨泵许可的压力差。如果容积效率低，爱德华EH500真空泵销售，则罗茨泵机组的有效抽速将会明显下降。如果罗茨泵的压力差**过许可的很大压力差，由于压缩功将使转子过热膨胀，真空泵，而会被卡死。因为泵壳易于向周围环境散热，仍然是不太热的。

罗次泵大允许压差范围在40-100hPa，在较高的压力范围（150hPa）时，允许的压力差稍高，因为被抽气体量多谢，改善了转子的冷却。由于压差的增加，必将引起所需功率也要增加。

在罗茨泵的出口管道设置**的气体冷却器，这时许可的很压差可以增加，因为冷却气体的回流能保持转子的温度在规定的范围内。

在真空和高真空范围内，抽速比多采用10:1。在入口压力有较大变化或前级压力变小，则压缩比降低，故抽速比多选择5:1。

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。