(3) 扩散泵:以低压高速蒸汽流作为工作介质的喷射真空泵。气体分子扩散到蒸汽射流中,被送到出口。在射流中气体分子密度始终是很低的,这种泵适于在分子流状态下工作。可分为:① 自净化扩散泵:泵液中易挥发的杂质经专门的机械输送到出口而不回到锅炉中的一种油扩散泵② 分馏式扩散泵:这种泵具有分馏装置,使蒸汽压强较低的工作液蒸汽进入高真空工作的喷嘴,阿尔卡特真空泵代理,而蒸汽压强较高的工作液蒸汽进入低真空工作的喷嘴,它是一种多级油扩散泵。
罗茨泵的工作原理及其结构特点
罗茨泵是一种双转子的容积式真空泵。在泵腔内有两个形状对称的转子,转子形状有两叶、三叶和四叶的。两个转子彼此朝相反方向旋转,由轴端齿轮驱动同步转动。转子彼此无接触,转子与泵腔壁也无接触,其间通常有0.15~1.0mm的间隙,泵腔靠间隙来密封。
由于罗茨泵泵腔内无摩擦,转子可高速运转,一般为1500~3000r/min,而且不必用润滑油,可实现无油清洁的抽气过程。泵的润滑部位**于轴承和齿轮,以及动密封处。泵没有往复运动部件,阿尔卡特真空泵,故可实现良好的动平衡。因而,阿尔卡特真空泵厂,罗茨泵运转平稳,转速高,尺寸小可获得大的抽速。
目前国内外的罗茨泵,多数为卧式结构,泵的进气口在上,排气口在下,这种卧式结构重l心低,高速运转时稳定性好。罗茨泵的两个转子是通过一对高l精度的齿轮来实现其相对同步旋转的。
泵的传动多为直联式的,大泵则有皮带传动的。电动机与传动齿轮,多设在转子轴的两侧,安装拆卸方便。主动轴传递的扭矩较大,阿尔卡特真空泵订做,轴要有足够的强度和刚度,轴与转子要固结牢靠。罗茨泵的密封很关键,主动轴外伸部分、两个转子的轴承与泵腔之间设有动密封,泵腔与各端盖设有静密封。