苏州方欧真空科技-保定爱发科GLD-N201真空泵销售

正确地组合真空泵。由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求。如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三较型溅射离子泵，（或二较型非对称阴极溅射离子泵）对亚有一定的抽速，两者组合起来，便会使真空装置得到较好的真空度。另外，有的真空泵不能在大气压下工作，需要预真空；有的真空泵出口压强低于大气压，需要前级泵，故都需要把泵组合起来使用。

爱德华EDWARDS真空泵主要型号：EDWARDS爱德华EM 系列 E1M5， E1M8， E1M12， E1M18， E1M30， E1M40， E1M80， E1M175， E1M275， E2M0.7， E2M1， E2M1.5， E2M2， E2M5， E2M8， E2M12， E2M18 ， E2M28， E2M30， E2M40， E2M80， E2M175，爱发科GLD-N201真空泵销售， E2M275

EDWARDS爱德华RV 系列RV3， RV5， RV8， RV12

EDWARDS爱德华EH 系列 EH250， EH500， EH1200， EH2600， EH4200

EDWARDS爱德华QMB 系列 QMB-250， QMB500， QMB1200EDWARDS爱德华XDS5，XDS10，XDS35EDWARDS爱德华PUMP GV80 GV160 GV250 GV400

分子泵

分子泵在国外半导体领域里的许多工艺场合是用来代替低温泵，尤其是溅射、刻蚀和LCVD等装置都采用复合分子泵和牵引泵作为主泵。由于分子泵对水蒸气的抽速仅为同口径低温泵抽速的四分之一，所以分子泵的排气时间比低温泵长。为了提高抽速，国外在分子泵的入口侧装一个-130℃～-150℃的低温冷板，称之为低温分子泵，水蒸气被低温板捕获，其他气体则由分子泵抽走。这种低温分子泵在真空镀膜装置上应用，既提高了生产效率又改善了膜层质量。随着中国半导体工业、薄膜产业和科学研究事业迅速发展，分子泵应该是中国真空泵制造业发展的重点。首先，分子泵要从小到大建立完整系列，以满足不同场合的需要。